盛美上海(688082)：2024年业绩稳健成长 力争成为平台型设备公司研发持续投入
2024 年经营活动产生的现金流量净额为12.16 亿元，同比上升主要是因销售回款较上期增加，以及因销售订单增长引起的本期预收货款增加所致。
公司行业地位稳固，以清洗设备为基础向平台型半导体设备公司发展
全球半导体清洗设备市场高度集中，尤其在单片清洗设备领域，DNS、TEL、LAM 与SEMES 四家公司合计市场占有率达到90%以上，其中DNS 市场份额最高，市场占有率在33%以上。本土12 英寸晶圆厂清洗设备主要来自DNS、盛美、LAM、TEL。
目前，中国大陆能提供半导体清洗设备的企业较少，主要包括盛美上海、北方华创、芯源微及至纯科技。根据公司2024 年年报数据披露显示，公司清洗设备的中国市场市占率为23%;而Gartner2023 年数据显示，公司在全球清洗设备的市场份额为6.6%，排名第五。除清洗设备外，公司亦积极扩大产品组合，在半导体电镀设备、半导体抛铜设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、前道涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD 设备等领域扩大布局。
2023 年中国大陆半导体专用设备制造五强企业中，公司位列其中。
公司持续发展核心技术，强化公司核心竞争力公司的主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备，通过多年的技术研发，公司在上述产品领域均掌握了相关核心技术，并在持续提高设备工艺性能、产能，提升客户产品良率和降低客户成本等方面不断进行创新。这些核心技术均在公司销售的产品中得以持续应用并形成公司产品的竞争力。近年来，公司推出了多款拥有自主知识产权的新设备、新工艺。其中UltraPmaxTM 等离子体增强化学气相沉积PECVD 设备，2024 年第三季度向中国的一家集设备及发布的前道涂胶显影设备UltraLith，这两个全新的产品系列将使公司全球可服务市场规模翻倍增加。2024 年炉管设备继续推出新技术产品，包括两款新型ALD 炉管，并开始进入工艺验证阶段，进一步强化公司在炉管设备上的竞争力。
1） 在清洗设备方面：SAPS 兆声波清洗技术实现国际先进；TEBO兆声清洗技术和单晶圆槽式组合Tahoe 高温硫酸清洗技术实现国际领先。
2） 抛光设备方面：无应力抛光技术实现国际领先。
3） 电镀铜设备方面：多阳极电镀技术实现国际先进。
投资建议
我们预计公司2025-2027 年的营业收入分别为67.29 亿/82.58 亿/92.06 亿元。归母净利润分别为14.96 亿/17.52 亿/19.24 亿元。对比此前预计的2025-2026 年营业收入70.88 亿元和88.59 亿元有所下调，对比原预计的2025-2026 年归母净利润15.44 亿元和19.77亿元有所下调。每股EPS 为3.39 元/3.97 元/4.36 元。对应PE 分别为31/26/24 倍。维持“买入”评级。
风险提示
晶圆厂扩产进度不及预期，销售周期较长回款不及时。